مع التركيز على التطبيق الفني للمنافذ الهوائية عالية الكفاءة - في الغرف النظيفة الإلكترونية ، يعد هذا النوع من جهاز إمداد الهواء الطرفي كلاسيكيًا وفعالًا للغاية ، حيث يلعب دورًا لا يمكن الاستغناء عنه في التصنيع الإلكتروني الحديث ، وخاصة لتجديد المصانع القديمة أو ترقية المناطق المحددة.
1. ما هو منفذ الهواء المدمج -؟
مخرج الهواء العالي المدمج - هو جهاز إمداد الهواء الطرفي يدمج مرشح الكفاءة العالي- (HEPA/ULPA) ، وسكن (صندوق ضغط ثابت) ، وناشر (غشاء توزيع الهواء) في وحدة واحدة. إنه يتصل بنظام تكييف الهواء المركزي عبر مجاري مجاري ويمثل "الميل الأخير" من معالجة هواء الغرفة النظيفة.
الفرق الرئيسي من FFU (وحدة مرشح المروحة) هو أن FFUs لديها جماهيرها الخاصة ، في حين أن منافذ الهواء المدمجة المعتادة - لا تأتي مع المعجبين وتعتمد على مروحة نظام تكييف الهواء المركزي للحصول على الطاقة. ومع ذلك ، هناك متغيرات مع المعجبين (مروحة - بمساعدة HEPA Box).
الثاني. سيناريوهات التطبيق في الغرف النظيفة الإلكترونية
مناسبة بشكل خاص لسيناريوهات العمل الإلكترونية التالية لسيناريوهات ورشة العمل الإلكترونية التالية لسيناريوهات العمل المدمجة {{
1. ISO Class 7-8 (100،000-100،000) الغرف النظيفة: بصفتها جهاز إمداد الهواء الطرفي الرئيسي ، يتم توزيعها بشكل كثيف أو متكافئ على السقف.
2. غرف تنظيف ISO Class 6 (1000): يمكن أن تكون بمثابة جهاز إمداد الهواء في الغرفة بأكمله أو كإمداد هواء للخلفية لبيئات نظيفة أعلى-.
3. تعويض التبريد/العادم المحلي لمعدات العملية: توفير إمدادات الهواء التعويضية لمعدات العملية التي تتطلب العادم (مثل آلات الحفر ، أفران الانتشار) للحفاظ على فرق ضغط الغرفة المستقرة.
4. ترقية وتجديد ورش العمل القديمة: إضافة منافذ الهواء عالية الكفاءة- وإرجاع جدران الهواء إلى ورش عمل تكييف الهواء العامة الحالية هي تكلفة - فعالة ووقت - لتوفير حل تجديد الغرفة النظيفة.
5. غرف أو مختبرات نظيفة صغيرة: مثل غرف المقاييس ، ومختبرات تحليل الدقة ، إلخ.
ثالثا. المزايا التقنية الأساسية وقيمة التطبيق
ينبع اختيار منافذ الهواء المتكاملة - في الغرف النظيفة الإلكترونية من مزاياها المتعددة:
مزاياها الأساسية وقيم التطبيق هي كما يلي:
1. ضمان إخراج الهواء النظيف: مزود بـ H13/H14 - مرشحات عالية الكفاءة ، مع كفاءة ترشيح تزيد عن أو تساوي 99.99 ٪ لجزيئات 0.3μm ، مما يوفر الهواء النظيف مباشرة إلى ورش العمل الإلكترونية ، وهو الضمان الأساسي لتحقيق معايير الغرفة النظيفة.
2. توزيع الهواء الموحد: يضمن تصميم صندوق الضغط الثابت أن الهواء يمر بشكل موحد عبر سطح مادة المرشح بالكامل ، بالاقتران مع غشاء توزيع الهواء أو الناشر المثقب ، وتجنب طائرات الهواء وتشكيل تدفق مضطرب أو عمودي ثابت ، وتخفيف فعال ومراجع.
3. سهولة التثبيت والصيانة: باستخدام تشديد الضغط الميكانيكي ، مدمج مع وحدة لوحة السقف. يتطلب استبدال المرشح عملية التشغيل فقط فوق السقف ، دون التأثير على الإنتاج أدناه ، مما يجعل الصيانة مريحة وقصيرة التوقف.
4. بالنسبة للمساحات الكبيرة وورش العمل مع متطلبات النظافة المعتدلة (وليس من الدرجة 5 وما فوق) ، قد يكون استهلاك الطاقة العام والاستثمار الأولي أقل من حل FFU.
5. استخدام المساحة الفعالة: دمج الترشيح وتوزيع الهواء ووظائف التسليم في بنية واحدة ، وتوفير مساحة فوق السقف ، مما يسهل تخطيط خطوط الأنابيب الأخرى (حماية الحريق ، الكهربائية ، خطوط أنابيب العملية).
رابعا. التفاصيل الفنية الرئيسية ونقاط الاختيار
عند اختيار وتطبيق منافذ الهواء المتكاملة -
1. اختيار كفاءة الترشيح
1.1 ISO Class 8-7 (100،000-10،000 Level): عادة ما يتم اختيار مرشحات كفاءة H13.
1.2 ISO Class 6 (1،000 Level): ينصح مرشحات كفاءة H14.
1.3 مناطق العملية الرئيسية: إذا تم استخدامها كخلفية لبيئات ISO 5 المحلية ، فيجب تحديد H14 أيضًا.
2. طريقة الختم - حاسمة للغاية
2.1 ختم سائل: موصى به بقوة لورش العمل الإلكترونية. تحقيق ضيق الهواء المطلق من خلال تضمين النصل في أخدود مملوء بالهلام الختم ، مما يضمن عدم وجود تسرب ، وهو مفتاح لضمان النظافة. أثناء التثبيت ، تأكد من أن النصل مسطح ويتم ملء هلام الختم بالكامل.
2.2 الضغط الميكانيكي + شريط الختم: التكلفة المنخفضة ، ولكنه يتطلب دقة تركيب عالية ، وشريط الختم عرضة للشيخوخة ، مع خطر التسرب ، مما يتطلب اكتشاف تسرب متكرر. مناسبة فقط للمناطق ذات المتطلبات المنخفضة قليلاً.
3. المواد السكنية
3.1 البرد - البلاستيك الرش الفولاذ المدلفن: الأكثر شيوعًا ، التكلفة - فعالة ، مناسبة لورش العمل الإلكترونية العامة.
3.2 الفولاذ المقاوم للصدأ (SUS304/316L): يستخدم في البيئات التي قد يكون لها تآكل كيميائي أو رطوبة أعلى ، أو لورش العمل الإلكترونية مع متطلبات خاصة (مثل تصنيع الرقائق).
4. صندوق الضغط الثابت وجهاز توزيع الهواء
4.1 يجب أن يحتوي مربع الضغط الثابت على تصميم دليل معقول لضمان تدفق الهواء الموحد من خلال القسم عبر التصفية - وتجنب الزوايا الميتة.
4.2 غشاء توزيع الهواء/لوحة مثقبة: تتمثل الوظيفة في جعل تدفق الهواء المخرج أكثر اتساقًا واستقرارًا ، وتجنب الدوامة والاضطراب. يمكن اختيار معدلات فتح مختلفة وفقًا للسرعة الجوية المطلوبة.
5. حجم الهواء والمقاومة
5.1 حدد حجم الهواء لكل منفذ هواء بناءً على سعر صرف الهواء المحسوب لمستوى النظافة المصمم. عند تحديد النموذج ، يجب ألا يتجاوز حجم الهواء الفعلي للهواء حجم الهواء المقنن.
5.2 عند حساب المقاومة الكلية للنظام ، يجب تضمين المقاومة الأولية والمقاومة النهائية (عادةً ضعف المقاومة الأولية) لمخرج الهواء العالي- لتحديد مروحة تكييف الهواء المركزية بشكل صحيح.
6. ثقوب القياس ومنافذ DOP
يجب أن يكون لدى منافذ الهواء القياسية ثقوب قياس اختلاف الضغط لتثبيت عدادات اختلاف الضغط لمراقبة انسداد المرشح. يجب حجز منافذ دخان PAO/DOP بشكل منتظم على المسح الضوئي - الكشف عن الموقع واكتشاف التسرب ، وهو العمل الأساسي للحفاظ على أداء الغرفة النظيفة.
باختصار ، في الغرف النظيفة الإلكترونية ، تعد منافذ الهواء المدمجة - حلاً فعالًا فعالًا وموثوقًا وموثوقًا وتكاليف - لبناء فئة ISO 6 (1000 مستوى) وبيئات النظافة السفلية. يكمن جوهر تطبيقه الفني في: توفير الهواء النظيف من خلال ترشيح الكفاءة العالي- ؛ ضمان جودة تدفق الهواء والتسرب صفر من خلال تصميم سائل وتوزيع الهواء ؛ تحقيق تركيب وصيانة مريح من خلال التصميم المعياري.
يعد تحديد وتثبيت Cafficiency Air Confulated High - بشكل صحيح ، إلى جانب نظام الصيانة الصارم للكشف عن التسرب والصيانة ، أساسًا لضمان نظافة ورش العمل الإلكترونية وتحسين عائد المنتج.
